蔡司Axio Imager Vario
用于大型樣品的正置顯微鏡
使用蔡司Axio Imager Vario分析極小的MEMS傳感器或整塊平板。其支柱設計讓您可以檢測超大樣品，同時保持高度穩定性。此外，Axio Imager Vario已獲得潔凈室使用認證。
☆檢查大型樣品
☆可兼容潔凈室
☆始終保持對焦
檢查大型樣品
選擇手動或電動支柱，盡享可檢測最大尺寸為300 mm × 300 mm、最大高度為254 mm樣品的優勢。無論是處理重型樣品還是與蔡司LSM材料共聚焦激光掃描顯微鏡結合使用，堅固的支柱設計均可防振動，提供可靠的穩定性。
獲得潔凈室工作認證
晶圓和光掩模檢測對清潔度的要求非常高。因此，檢查需要在潔凈室內完成。根據DIN EN ISO 14644-1標準，以每立方米內顆粒數量和大小將潔凈室劃分成不同等級。Axio Imager Vario已通過該標準認證，滿足5級潔凈室的要求。ISO 5級潔凈室相當于原FED STD 209E(1992)標準的100級。
始終保持對焦
當檢測低襯度反光表面時，只需為您的Axio Imager Vario配備高效的硬件自動對焦。無論是對于反射光還是透射光，均可保證高精度。傳感器能夠探測到焦點位置變化，并自動補償任何偏差。即使是大型樣品，在移動時也能保持出色對焦。
硬件自動對焦
材料研究和工業生產需要對焦精度可達物鏡景深0.3倍的高精度對焦系統。鎖定范圍高達12000 µm的對焦系統可滿足該要求。該自動對焦適合使用反射光、透射光、明場、暗場、偏光、微分干涉相差及斜照明的應用。
TFT顯示屏，明場，透射光，紅色、綠色和藍色子像素
應用
探索Axio Imager Vario在材料領域的金相應用
反射光暗場，EC Epiplan-APOCHROMAT 10x/0.30
反射光明場，EC Epiplan-NEOFLUAR 5x/0.13
反射光暗場，EC Epiplan-APOCHROMAT 50x/0.95
反射光，C-DIC，EC Epiplan-APOCHROMAT 50x/0.95
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