
壓電物鏡NF100LA采用壓電陶瓷驅動的納米級物鏡掃描臺,內部使用無摩擦及空回的柔性較鏈導向機構,確保了掃描臺優秀的運動精度。
體積小、結構緊湊 超高真空微型光柵尺SMG26特點,體積小,結構緊湊,適用于超高真空使用,良好的耐高溫性,最高可達100℃,SMG26系列光柵的柵距為256μm,下表為不同細分倍數下的允許速度值,精度高,絕對精度3μm(20℃)
線性壓電納米位移臺ML-37A,大行程直線位移臺,不僅擁有緊湊的安裝尺寸,同時還兼具低溫真空等應用環境,是小空間內大行程高精度的定位的優先選擇產品。支持定制納米位移臺。